垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser, VCSEL),以其表面發(fā)射,集成度高,成本低,穩(wěn)定性好等優(yōu)點,自其出現(xiàn)后,已經(jīng)廣泛被應用在各行各業(yè)中。其中,傳統(tǒng)的應用主要集中在光纖通訊,激光打印,光傳感,原子鐘等方面。近年來,隨著生產(chǎn)工藝的進步,以及3D傳感行業(yè)的興起,VCSEL在激光加工,手機等行業(yè)煥發(fā)了新的生機。新市場,新應用對VCSEL的生